1. 掃描電子顯微鏡測(cè)量的樣品制備

掃描電子顯微鏡可以測(cè)量各種樣品，但根據(jù)樣品的不同，可能需要適當(dāng)?shù)臉悠分苽浜蜏y(cè)量條件。

絕緣樣品
當(dāng)使用絕緣樣品時(shí)，樣品表面可能會(huì)因照射的電子束而帶電。如果發(fā)生充電，圖像可能會(huì)變形或觀察到對(duì)比度異常，這可能會(huì)妨礙獲得準(zhǔn)確的圖像數(shù)據(jù)。為了防止帶電，需要采取在樣品表面濺射一薄層金屬、在低加速電壓下觀察、在低真空狀態(tài)下觀察等措施。

高真空條件下蒸發(fā)或升華的樣品
如果在高真空條件下發(fā)生蒸發(fā)或升華，不僅會(huì)導(dǎo)致樣品的結(jié)構(gòu)和形狀發(fā)生變化，還可能導(dǎo)致設(shè)備故障。為了防止這些問(wèn)題，采取低真空下測(cè)量等措施是有效的。此外，含有大量水分的生物樣品即使在低真空下觀察也通常需要額外的預(yù)處理。

磁性樣品
使用磁性樣品時(shí)，如果電子透鏡與樣品之間的距離較近，樣品會(huì)被磁化，電子束的調(diào)節(jié)會(huì)變得困難。如果樣品較大，則可能會(huì)從樣品臺(tái)上掉落，您也有可能最終會(huì)堅(jiān)持鏡頭。為了防止這些問(wèn)題，需要使用鏡外法的掃描電子顯微鏡，并用螺釘或粘合劑固定樣品。

當(dāng)您想要觀察樣品的內(nèi)部時(shí)
如果您想在不使用下述透射模式的情況下觀察樣品的內(nèi)部，則需要使用聚焦離子束 (FIB) 處理樣品并觀察橫截面。

2. 掃描電子顯微鏡主要分析裝置

當(dāng)用加速電子束照射樣品時(shí)，不僅可以獲得二次電子和背散射電子等信號(hào)，還可以獲得透射電子、X射線、陰極發(fā)光和吸收電子等信號(hào)。可以連接分析儀來(lái)檢測(cè)這些信號(hào)。

透射電子
如果樣品足夠薄或含有顆粒，一些被照射的電子將穿過(guò)并被檢測(cè)為透射電子。通常使用透射電子顯微鏡或掃描透射電子顯微鏡（STEM）等獨(dú)立的測(cè)量裝置進(jìn)行測(cè)量，但也可能使用掃描電子顯微鏡配備的透射模式。可以觀察內(nèi)部結(jié)構(gòu)，這是掃描電子顯微鏡難以做到的。

X射線
當(dāng)用電子束照射原子時(shí)，除了電子束之外還可以發(fā)射X射線。由于這些 X 射線的每個(gè)原子都具有自己的能量，因此可以通過(guò)檢測(cè)發(fā)射的 X 射線來(lái)識(shí)別樣品表面上存在的原子類型。

當(dāng)連接并測(cè)量 X 射線探測(cè)器時(shí)，可以執(zhí)行元素映射，不僅顯示樣品表面上的原子組成，還可以在圖像數(shù)據(jù)上顯示哪些原子存在于樣品的哪些部分。 X射線探測(cè)器有兩種類型：能量色散X射線探測(cè)器（EDS）和波長(zhǎng)色散X射線探測(cè)器（WDS），每種探測(cè)器都有不同的特性，必須根據(jù)用途進(jìn)行選擇。

陰極發(fā)光
陰極發(fā)光是當(dāng)用電子束照射樣品時(shí)發(fā)出的光，通過(guò)檢測(cè)該光，可以測(cè)量樣品的晶體特性，例如晶體缺陷、雜質(zhì)和載流子濃度。

通過(guò)添加其他選項(xiàng)可以添加各種功能。與使用單獨(dú)的測(cè)量裝置進(jìn)行測(cè)量相比，該方法的優(yōu)點(diǎn)是能夠在觀看掃描電子顯微鏡圖像的同時(shí)選擇測(cè)量位置，從而可以進(jìn)行更詳細(xì)的測(cè)量。